Cilj za raspršivanje se odnosi na izvor raspršivanja koji se raspršuje i nanosi na podlogu pod odgovarajućim procesnim uslovima magnetronskim raspršivanjem, višelučnim ionskim prevlačenjem ili drugim vrstama opreme za premazivanje kako bi se formirali različiti funkcionalni filmovi. Prema sastavu, mete se mogu podijeliti na mete od čistog metala, mete od legure, oksidne mete, silicidne mete itd.; prema obliku mogu se podijeliti na planarne mete (pravokutne i lučne mete) i cjevaste mete. . Mete za raspršivanje se široko koriste u mnogim poljima kao što su dekoracija, alati i kalupi, staklo, elektronski uređaji, poluvodiči, magnetno snimanje, ravni ekrani, solarne ćelije, itd. Različita polja zahtijevaju različite ciljne materijale.
1. Dekorativni premaz
Dekorativni premaz se uglavnom odnosi na površinsko premazivanje mobilnih telefona, satova, naočala, sanitarije, dijelova hardvera i drugih proizvoda. Ne samo da igra ulogu u uljepšavanju boje, već ima i otpornost na habanje, otpornost na koroziju i druge funkcije. Glavne varijante meta za dekorativni premaz uključuju: metu hroma, metu od titana, metu od cirkonija, metu od nikla, metu od volframa, metu od titanijum-aluminijuma, metu od nerđajućeg čelika itd.
2. Oblaganje kalupa za obradu ili alata
Uglavnom se koristi za površinsko ojačavanje alata i kalupa, što može značajno poboljšati vijek trajanja alata i kalupa i kvalitetu obrađenih dijelova. Posljednjih godina, vođeni razvojem zrakoplovne i automobilske industrije, tehnički nivo i proizvodna efikasnost globalne proizvodne industrije su postigli veliki napredak, a potražnja za alatima za rezanje visokih performansi i kalupima raste iz dana u dan. Glavne vrste meta koje se koriste za premazivanje kalupa uključuju: titan-aluminijske mete, hromirane mete, titanijumske mete itd.
3. Stakleni premaz
Primjena ciljanih materijala na staklu je uglavnom za proizvodnju stakla premazanog niskim zračenjem, koje koristi princip magnetronskog raspršivanja za raspršivanje više slojeva tankih filmova na staklu kako bi se postigle funkcije uštede energije, kontrole svjetlosti i dekoracije. Glavne vrste meta uključuju: srebrnu metu, hromnu metu, titanijumsku metu, nikl-hromnu metu, silicijum-aluminijumsku metu, metu od titanijum oksida, itd. Druga važna primena meta materijala na staklu je priprema automobilskih retrovizora, uglavnom hroma mete, aluminijumske mete, mete od titanijum oksida, itd. Kako zahtevi u pogledu kvaliteta za automobilske retrovizore nastavljaju da rastu, mnoge kompanije su prešle sa originalnog procesa aluminijumskog prevlačenja na proces hromiranja pomoću vakuuma.
4. Oblaganje elektronskog uređaja
Premazi elektronskih uređaja uglavnom se koriste za tankoslojne otpornike i tankoslojne kondenzatore. Ciljni materijali za tankoslojne otpornike uključuju NiCr metu, nikl hrom silicijum (NiCrSi) metu, hrom silicijum (CrSi) metu, tantal (Ta) metu, metu nikl hrom aluminijum (NiCrA1) itd.
5. Ravni premaz ekrana
Brzi rast potražnje za uređajima sa ravnim ekranom od prenosivih personalnih računara, televizora, mobilnih telefona, itd. uvelike je podstakao razvoj različitih tipova uređaja sa ravnim ekranom. Njegovi tipovi uključuju: uređaj za prikaz sa tekućim kristalima (LCD), uređaj za prikaz plazme (PDP) itd. Svi ovi uređaji za ekran sa ravnim ekranom koriste različite vrste filmova. Bez tehnologije tankog filma ne bi postojali uređaji sa ravnim ekranom. Kako bi se osigurala ujednačenost premaza velikih površina, poboljšala produktivnost i smanjili troškovi, za pripremu ovih premaza sve se više koristi tehnologija raspršivanja. Glavne vrste meta koje se koriste za premazivanje ravnog ekrana uključuju: mete od hroma, mete od molibdena, mete od legure aluminijuma, mete od bakra, itd.
6. Poluprovodnički premaz
Brzi razvoj informacione tehnologije zahteva da integrisana kola budu sve više integrisana. Svaki jedinični uređaj se sastoji od podloge, izolacionog sloja, dielektričnog sloja, sloja provodnika i zaštitnog sloja. Među njima, dielektrični sloj, sloj provodnika, pa čak i zaštitni sloj. Koristi se proces nanošenja premaza, tako da je meta za raspršivanje jedan od osnovnih materijala za pripremu integrisanih kola. Ciljni materijali za poluprovodničke prevlake zahtijevaju visoku čistoću cilja, općenito iznad 4N ili 5N. Glavne varijante uključuju volfram-titanijumske, titanijumske mete, aluminijumske mete i bakrene mete.
