Proces nanošenja stražnje ploče odnosi se na proces nanošenja jednog ili više prelaznih slojeva metal/legura na ne-naprskanu stražnju stranu mete za raspršivanje putem vakuumskog premaza i drugih tehnologija kako bi se poboljšala čvrstoća veze između mete i pozadinske ploče. Ovo ne samo da poboljšava kvalitetu premaza mete već i produžava njen vijek trajanja.
Šta je "back Plating"?
Mete za raspršivanje su obično strukturirane kao „tijelo mete“ (osnovna komponenta koja se koristi za taloženje raspršivanjem, kao što su mete od aluminijske keramike, bakra ili molibdena) i „podložna ploča“ (podloga koja se koristi za podržavanje mete i distribuciju topline, obično napravljena od bakra ili aluminijskih legura). To dvoje se spaja zavarivanjem ili lijepljenjem.
"Pozadinsko oblaganje" uključuje nanošenje sloja specifičnog materijala (obično metala sa dobrom električnom ili toplotnom provodljivošću, kao što je bakar, aluminijum ili srebro) na zadnju stranu mete za raspršivanje (ne-radnu površinu nasuprot površine za raspršivanje) putem fizičkog taloženja parom (PVD) ili drugim metodama. Ovo stvara troslojnu kompozitnu strukturu: "ciljno tijelo - sloj zadnjeg oplata - podloga." Ovaj premaz ne sudjeluje u stvarnom procesu taloženja tankog filma, ali ima značajan utjecaj na ukupne performanse i vijek trajanja mete.
Osnovne funkcije stražnje oplate
1. Poboljšani prijenos topline i poboljšano odvođenje topline
Tokom procesa raspršivanja, ciljna površina je bombardirana visoko{0}}energetskim jonima, a približno 70% energije se pretvara u toplinu, uzrokujući naglo povećanje ciljane temperature. Oblaganjem stražnje strane mete materijalom visoke toplinske provodljivosti, toplinski kontakt između mete i rashladne pozadinske ploče može se značajno poboljšati, ubrzavajući prijenos topline od mete do rashladnog sistema i efikasno kontrolirajući radnu temperaturu.
2. Poboljšanje električnog kontakta i osiguranje stabilnosti pražnjenja
Magnetronsko raspršivanje se oslanja na formiranje stabilnog pražnjenja plazme na površini mete. Zadnji premaz je tipično napravljen od visoko provodljivog materijala kako bi se smanjio kontaktni otpor, osigurala ujednačena distribucija struje i poboljšala stabilnost pražnjenja. Ovo je posebno važno kod raspršivanja velike-snage (kao što je HIPIMS).
3. Poboljšanje mehaničkog vezivanja i sprečavanje ispadanja cilja
Mete se obično pričvršćuju na metalne podloge lemljenjem ili mehaničkim pritiskom. Mikroskopski razmaci između mete i podložne ploče, ili slaba veza, mogu lako dovesti do raslojavanja ili odvajanja pod termičkim ciklusima i mehaničkim vibracijama. Zadnji premaz djeluje kao "prijelazni sloj", poboljšavajući vlaženje i vezu između mete i pozadinske ploče.
4. Sprečavanje kontaminacije i oksidacije
Određeni ciljni materijali lako reaguju sa kiseonikom ili vodenom parom u vazduhu na visokim temperaturama, formirajući oksidni sloj koji utiče na efikasnost raspršivanja i čistoću filma. Stražnji premaz može poslužiti kao fizička barijera za izolaciju stražnje strane mete od vanjskog okruženja i sprječavanje oksidacije i kontaminacije. To je posebno važno prilikom skladištenja i transporta mete.
Uobičajeni{0}}postupci nanošenja premaza
1. Magnetronsko raspršivanje: Bakarna ili aluminijumska meta se koristi za nanošenje provodnog sloja na poleđinu mete. Ova metoda je prikladna za aplikacije velikih-područja koje zahtijevaju visoku uniformnost.
2. Galvanizacija ili bezelektrična obrada: Pogodno za provodljive podloge i relativno su niske-cijene, ali zahtijevaju pažljivu kontrolu naprezanja premaza.
3. Termičko prskanje: Ova metoda, kao što je plazma prskanje, pogodna je za složene oblike ili nanošenje debelog sloja, ali može dovesti do veće hrapavosti površine.
FANMETAL-ovi vrući-ciljevi prodaje
Uobičajene zablude
1. Da li je deblji stražnji{1}}premaz uvijek bolji?
Nije nužno. Previše debeli stražnji-premazi mogu dovesti do naprezanja neusklađenosti termičkog širenja, što dovodi do pucanja. Tipično, debljina se kontrolira između nekoliko mikrona i desetina mikrona, što zahtijeva optimizaciju na osnovu koeficijenta toplinske ekspanzije materijala.
2. Da li sve mete zahtijevaju-premaz?
Nije nužno. Za aplikacije malog{1}}razmjera, male snage-ili kratkotrajnih-primjena za prskanje, stražnji{4}}premaz možda neće biti potreban. Međutim, u industrijskim aplikacijama koje zahtijevaju veliku snagu, velike površine i dug vijek trajanja, stražnji{6}}premaz je postao standard.
3. Utječe li-povratna ploča na iskorištenje cilja?
Sama pozadinska{0}}oplata ne troši materijal za prskanje. Umjesto toga, poboljšava ukupnu iskorištenost povećanjem stabilnosti i životnog vijeka.
Zaključak
Iako stražnji-premaz meta za raspršivanje ne učestvuje direktno u taloženju tankog filma, on je ključan za osiguranje stabilnih, efikasnih i dugotrajnih- procesa raspršivanja. Poboljšanjem toplotne provodljivosti, optimizacijom električnog kontakta, povećanjem čvrstoće vezivanja i sprečavanjem kontaminacije, sveobuhvatno poboljšava vijek trajanja cilja (produžuje ga za 2-3 puta), kvalitet premaza (smanjenje stope kvarova) i stabilnost procesa (smanjenje rizika od zastoja). Budući tehnološki napredak će omogućiti magnetronsko raspršivanje da zamijeni tradicionalne procese isparavanja za nanošenje pozadinskog premaza, omogućavajući tolerancije debljine unutar ±0,5 μm i dalje optimizirajući ciljne performanse. Ako imate bilo kakvih pitanja o detaljima ovog proizvoda ili vremenu isporuke, ne ustručavajte se kontaktirati nas na admin@fanmetalloy.com. Radujemo se vašoj poruci.
