Sa strukturne tačke gledišta, meta se uglavnom sastoji od dva dela: „prazna meta“ i „stražnja ploča“. Slepa meta je materijal mete koji je bombardovan brzim jonskim snopom. To je osnovni dio mete za raspršivanje i uključuje kontrolu orijentacije metala visoke čistoće i zrna. Zadnja ploča uglavnom igra ulogu fiksiranja mete za raspršivanje i uključuje proces zavarivanja. Trenutno, uobičajeni materijali za stražnju ploču za raspršivanje uglavnom uključuju bakar bez kisika, legure bakra, molibden i materijale stražnje ploče cijevi od nehrđajućeg čelika.
1. Razlozi za ugradnju stražnje ploče
Sklop mete se sastoji od mete sa mogućnošću raspršivanja spoja i pozadinske ploče kombinovane sa metom zavarivanjem. U procesu prskanja, ciljni sklop je u teškom radnom okruženju. Jedna strana pozadinske ploče je snažno hlađena određenim pritiskom rashladne vode, dok je jedna strana blanka mete u visokotemperaturnom vakuumskom okruženju, pa se na suprotnim stranama ciljnog sklopa formira ogromna razlika pritiska. Osim toga, jedna strana mete je bombardirana raznim česticama u visokonaponskom električnom polju i jakom magnetskom polju, te se stvara mnogo topline.
U ovako teškim uslovima, kako bi se osigurala stabilnost kvaliteta filma i kvaliteta sklopa mete, kvaliteta ciljne gredice i stražnje ploče i brzina zavarivanja postaju sve zahtjevniji, inače je lako voditi do deformacije i pucanja sklopa mete u toplim uslovima, što utiče na kvalitet filma, pa čak i uzrokuje oštećenje baze za raspršivanje.
2. Materijali za izradu pozadinske ploče
Podložna ploča se uglavnom koristi za fiksiranje ciljanog materijala za raspršivanje i mora imati dobru električnu i toplinsku provodljivost. Tokom procesa nanošenja premaza magnetronskim raspršivanjem, meta mora izdržati i pritisak rashladne vode na poleđini i vakuumski negativni pritisak na prednjoj strani. Bakarne ploče i legura bakra često se biraju kao ciljne osnovne ploče jer imaju sljedeće prednosti:
(1) Visoka toplotna provodljivost: može efikasno prevesti toplotu stvorenu na ciljnoj površini tokom procesa prskanja u sistem hlađenja. Ovo pomaže u održavanju stabilne temperature mete i sprečava pucanje mete ili degradaciju performansi zbog pregrijavanja.
(2) Ima visoku električnu provodljivost: može poboljšati efikasnost provođenja struje tokom procesa prskanja. Ovo pomaže u smanjenju gubitaka otpora između mete i magnetronskog sistema za raspršivanje, čime se poboljšava efikasnost raspršivanja.
(3) Visoka mehanička čvrstoća: može pružiti stabilnu podršku. Ovo pomaže da se osigura da meta ne pukne zbog vibracija ili naprezanja tokom procesa prskanja.
(4)Ujednačeno raspršivanje: Bakrena zadnja ploča može poboljšati distribuciju elektromagnetnog polja mete, čime se postiže ujednačenije raspršivanje i poboljšava uniformnost filma.
(5) Produžite životni vijek mete: Zbog visoke toplinske provodljivosti i električne provodljivosti bakrene pozadinske ploče, radna temperatura i gubitak otpora mete mogu se smanjiti, čime se usporava trošenje mete i produžava njegovo vijek trajanja.
3. Proces povezivanja stražnje ploče
(1) Prethodno obradite površinu mete i stražnju metu prije vezivanja;
(2) Pričvrstite zadnju metu na sto za grejanje, postavite metu na zadnju ploču i zagrejte je na temperaturu vezivanja;
(3) Metalizirajte metu i stražnju metu i zalemite metu na bakarnu stražnju ploču;
(4) Povežite metu i zadnju metu, postavite protivteg na površinu mete dalje od bakarne pozadinske ploče i uklonite protivuteg nakon što se meta ohladi;
(5) Hlađenje naknadne obrade.
